科研项目： | （1）C型臂血管造影机 产品开发 2002-2005 设计骨干 （2）240雷达天线座 装备开发 2005-2007 设计骨干 （3）空间相机高精度综合标定转台 检测装备 2006-2009 分系统负责人 （4）激光靶测试光电跟踪转台 装备开发 2008-2009 分系统负责人 （5）RFID电子标签封装机研究及设备研制 863项目 2009-2012 单元负责人 （6）16m宽幅相机调整系统 检测装备2011-2012 负责人 （7）光学波面轮廓仪高精度转台 检测装备 2011-2013 分系统负责人 （8）激光熔覆工程样机研制 所创新 2013-2015 分系统负责人 （9）1Km和3Km精密跟踪转台 装备开发 2013-2014 分系统负责人 （10）头罩谐波和声呐谐波 产品开发 2018-2022 负责人 （11）晶圆测试探针仪的关键技术研究与制造 省重点科技攻关 2017-2020 负责人 （12）12寸全自动晶圆测试探针台 产品开发 2015-2022 负责人 |
代表性 论文： | （1）田学光,吴梦晗,孙丽娜,宋丽敏.基于Huston多体系统理论的转台定位误差建模分析[J].机械设计与研究,2013,29(04) （2）田学光,吴玉彬,张德龙,邴玉霞,常丰吉,田兴志.基于高精度密珠轴承的车载雷达转台方位轴系[J].机械设计,2010,27(10) （3）田学光,田兴志,刘轩,刘伟.大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制[J].光学精密工程,2010,18(05) （4）田学光,常丰吉,田兴志,冯长有.数字减影血管造影系统机电分系统构成原理与可靠性设计[J].机械设计与制造,2006(12) （5）宋丽敏,田学光,杨越明,等. 基于排列互比法的转台编码器测量误差测试 [J]. 工程与试验, 2013, 53 (01) （6）贺甲,田学光,张德龙,等. 基于休斯敦方法的机械手误差建模与分析 [J]. 工程设计学报, 2010, 17 (06) （7）刘通通,田学光,田兴志. 高精度大型转台微调系统的优化设计 [J]. 机械科学与技术, 2008, (03) |
专利： | 一种晶圆自动对针装置 2021 实用新型 1 CN202120244069.4 一种晶圆自动对针装置及方法 2021 发明 1 CN202110120229.9 一种高精度大行程高承载二维平台 2019实用新型 1 CN201920316856.8 一种大负载晶圆针卡翻转调平机构 2019发明 2 CN201910190485.8 高低温工作盘 2020 实用新型 2 CN202010976089.0 一种探针台针痕检测方法 2021 发明 3 CN202110390687.4 晶圆测试用旋转升降台 2020 实用新型 2 CN202022207349.6 工作盘 2020 发明 3 CN202010974329.3 旋转驱动装置 2009 发明 1 CN200910217815.4 旋转电限位机构 2010 发明 1 CN201010543495.4 轴向保持器、使用该轴向保持器 的向心轴承及垂直轴系 2008 实用新型 2 CN200820072259.7 方筒结构 2008 发明 3 CN200810051121.3 顶针机构 2009 发明 4 CN200910217906.8 铰链安装方法 2008 发明 4 CN200810051120.9 |
